İlçenin kuruluş tarihi kesin olarak bilinmemekle birlikte, daha önce bağlı bulunduğu Çarşamba ilçesinden daha eski bir tarihe sahip olduğu sanılmaktadır. Eski tapularda Çarşamba ismi geçmeyip Ayvacık Geziyeri olarak bahsedilmektedir.
Ayvacık 1954'te tam teşekküllü nahiye olmuş; fakat 1960'da daha önce kurulmuş devlet teşkilatları kaldırılmıştır. Bu nedenle Ayvacık tekrar köy olmuştur.